光刻机关键系统产业化新进展

爱集微查询中国国际招标网发现，日前北京国望光学科技有限公司发布国际公开竞争性招标，拟采购 2 台五轴联动立式加工中心，投标截止时间（开标时间）为 2022 年 5 月 26 日。

此前公开信息显示，国望光学光刻机曝光系统生产基地项目已相继走过基建与洁净工程节点，新的招标信息或显示生产基地项目将进入设备安装调试阶段。

根据计划，国望光学研发基地将于 2023 年投入运行，届时该基地将拥有 350/280nm 节点、90/110nm 节点、28nm 及以下节点极大规模 IC 制造投影光刻机曝光光学系统产品的研发、设计与批量生产供货能力。